フオトマスク用エッチング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小西淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-285940
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116820
出願日： 1996年10月09日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】フオトマスクのドライエッチング装置であって、帯電によるパターンの破壊を防止できるように、除電機構部を備えたドライエッチング装置を提供する。【解決手段】フオトマスクをドライエッチングするエッチング装置であって、基板の除電を行うための除電機構部を備えている。

請求項（抜粋）：

フオトマスクをドライエッチングするエッチング装置であって、基板の除電を行うための除電機構部を備えていることを特徴とするフオトマスク用エッチング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 , G03F 1/08 , H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/302 B , G03F 1/08 A , H01L 21/30 502 P

引用特許：

審査官引用 (6件)

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