特許

J-GLOBAL ID：200903019973215041

像観察装置及び像観察方法

発明者： 大楽 英昭 ,  中山 佳彦 ,  及川 隆利 ,  田中 隆一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-257660
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083087
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 電子線による試料損傷の低減とCL像信号の高効率取込みの両立化を実現する。【解決手段】 CLの波長分散は回折格子24により行ない、波長分散したCLを受光するために回折格子のローランド円上にマルチチャンネル光電子増倍管23を配置する。二次電子検出器4による二次電子像と、マルチチャンネル光電子増倍管23による波長分散CL像を画像合成手段35で合成する。

請求項（抜粋）：

試料上に電子線を走査して照射する電子線照射手段と、電子線照射によって試料から放出された二次電子を検出する二次電子検出器と、波長分散素子と検出器アレイとを備える分光器と、電子線照射によって試料から放出されたカソードルミネッセンスを前記分光器に導く手段と、前記二次電子検出器の検出信号を処理して二次電子像を形成すると共に前記検出器アレイの検出信号を処理して複数波長におけるカソードルミネッセンス像を形成し両者を合成する画像合成手段とを備えることを特徴とする像観察装置。

IPC (4件)：

G01N 21/62 ,  G01N 21/63 ,  G01N 23/22 ,  H01J 37/22 502

FI (4件)：

G01N 21/62 A ,  G01N 21/63 Z ,  G01N 23/22 ,  H01J 37/22 502 H

Fターム (37件)：

2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001CA07 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001EA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA09 ,  2G001GA13 ,  2G001HA01 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA01 ,  2G001MA02 ,  2G001SA01 ,  2G043AA03 ,  2G043BA16 ,  2G043CA03 ,  2G043EA01 ,  2G043EA11 ,  2G043HA03 ,  2G043HA05 ,  2G043HA09 ,  2G043JA04 ,  2G043KA05 ,  2G043KA09 ,  2G043LA02 ,  2G043LA03 ,  2G043NA01 ,  2G043NA06