特許

J-GLOBAL ID：200903019978897450

粒子配列装置およびこれを用いた粒子転写方法

発明者： 桑崎 聡
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-265627
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092880
出願日： 1996年09月14日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 TABやフリップチップ・ボンディングにおけるバンプ形成を転写方式で行う場合の転写漏れを防止する。【解決手段】 水平に固定されたマスク板7に近接して多孔質材料からなるステージ1を配し、該マスク板7の開口7aに1個ずつ収容したバンプBpを該ステージ1上の粒子配列面に配列させる。このとき、ステージ1の裏面から行われる排気と、粒子配列面に形成された微小突起2aとが、バンプBpの移動を制限する。余剰のバンプBpをスキージ9を用いて回収した後、ステージ1を下降させてマスク板7から分離する。この下降をステージ1を傾斜させながら行うと、気流の乱れによるバンプBpの位置ずれを防止できる。続いてステージ1を他所に移動させ、配列されたバンプBpをTABテープ上のリードや、LSIチップのパッド電極上へ転写する。

請求項（抜粋）：

粒子の供給手段と、多孔質平板からなり、前記供給手段から供給される粒子を配列させるための粒子配列面となる一方の主面に該粒子の移動を規制するための微細な表面凹凸を有するステージと、前記ステージ上における粒子の配列を規定するために所定のパターンにしたがって形成された開口を有するマスク板と、粒子を前記粒子配列面に保持するために、前記ステージの他方の主面側から粒子を吸引する吸引手段と、前記ステージと前記マスク板の主面同士を近接/離間自在となすために、該ステージもしくは該マスク板の少なくとも一方に接続される駆動手段とを備えた粒子配列装置。

IPC (4件)：

H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60 ,  H01L 21/321 ,  H05K 3/34 505

FI (5件)：

H01L 21/60 311 W ,  H01L 21/60 311 Q ,  H05K 3/34 505 A ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z