透光性窒化珪素質焼結体の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-085453
公開番号（公開出願番号）：特開平5-286766
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【目的】一段と優れた透光性を発揮する透光性窒化珪素焼結体を製造する。【構成】2〜4wt%のSc2 O3 粉末と0.2〜0.5wt%のAl2 O3 粉末とからなる焼結助剤と、残部Si3 N4 粉末とを混合し、所定形状に成形して成形体とし、この成形体をAlN粉末で被覆した状態で、1800〜1900°Cにおいて非酸化性雰囲気中、500〜2000気圧の圧力下で焼成する。焼結圧力を高圧にし、成形体をAlN粉末で被覆すれば、透光性の向上に有効である。

請求項（抜粋）：

2〜4重量%の酸化スカンジウム粉末と0.2〜0.5重量%の酸化アルミニウム粉末とからなる焼結助剤と、残部窒化珪素粉末とを混合し、所定形状に成形して成形体を得る成形工程と、該成形体を窒化アルミニウム粉末で被覆した状態で、1800〜1900°Cにおいて非酸化性雰囲気中、500〜2000気圧の圧力下で焼成する焼成工程とからなることを特徴とする透光性窒化珪素質焼結体の製造方法。

IPC (3件)：

C04B 35/58 102 , C04B 35/58 , C04B 35/64

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-223254
特開平2-223254
特開平4-192921

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