特許
J-GLOBAL ID：200903019981166580
圧電素子の周波数調整装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-284924
公開番号（公開出願番号）：特開2004-120689
出願日： 2002年09月30日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】従来の圧電素子の周波数調整装置では、一台のイオンガンで、高周波圧電素子か、又は低周波圧電素子のどちらか一方の周波数調整にしか対応できず、広い振動周波数範囲での周波数調整が困難であった。又、イオンガン電源印加電流を可変する方法での周波数調整では、微少な周波数調整レート時におけるレート制御が難しいという課題がある。【解決方法】放電室内で不活性ガス分子をイオン化し、遮蔽電極板及びイオン加速電極板により、イオンを放電室内から引出し且つ加速させて、このイオンを圧電板表面の金属製電極膜に衝突させ、電極膜を構成する分子をはじき飛ばすことで、圧電板の振動周波数を調整する圧電素子の周波数調整装置において、放電室のイオン射出口に配置した遮蔽電極板に設けた第1のイオン通過口と、イオン加速電極板に設けた第2のイオン通過口の大きさ又は/及び形状が異なっていることを特徴とする圧電素子の周波数調整装置である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
イオンガンを構成する放電室内に、不活性ガスを流入し、該放電室内で該不活性ガス分子をイオン化し、該放電室のイオン射出口に配置した遮蔽電極板、及び該放電室外に設けたイオン加速電極板により、イオンを放電室内から引出し且つ加速させて、該イオンを圧電素子内の圧電板表面の金属製電極に衝突させ、該電極を構成する分子をはじき飛ばすことで該圧電板の振動周波数を調整する圧電素子の周波数調整装置において、
該遮蔽電極板に設けた第1のイオン通過口と、該イオン加速電極板に設けた第2のイオン通過口との大きさ又は/及び形状が異なっていることを特徴とする圧電素子の周波数調整装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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