特許

J-GLOBAL ID：200903019982872535

紫外線照射装置及び紫外線照射方法。

発明者： 徳村 勝也
出願人/特許権者： 株式会社テクノ・プレックス
代理人 (1件)： 加藤 雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-156920
公開番号（公開出願番号）：特開2002-346379
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月03日
要約：

【要約】【解決手段】 紫外線照射ランプ1は減圧された雰囲気中に配置され、対象物2は、照射容器(3-1、3-2)に収納されて上記紫外線照射ランプ1の発する紫外線の照射を受け、保護容器4は上記紫外線照射ランプ1と上記照射容器(3-1、3-2)とを内部に保持し、雰囲気維持装置5は、上記保護容器4の内部を減圧し、換気装置6は上記照射容器(3-1、3-2)内部を所定の条件に基づいて換気する。【効果】 対象物の厚さの変化による洗浄度のバラツキが発生しにくく、かつ対象物の面上の位置による洗浄度のバラツキも発生しにくくなる。更に、対象物の出し入れや、それに付随する作業に支障を来すことも無くなる。

請求項（抜粋）：

紫外線照射ランプと、前記紫外線照射ランプの発する紫外線の照射を受けて処理される対象物を収納する照射容器と、前記紫外線照射ランプと前記照射容器とを内部に保持する保護容器と、当該保護容器内部を減圧状態に維持する保護容器内減圧装置と、前記照射容器内部を所定の条件に基づいて換気する換気装置とを備えることを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (9件)：

B01J 19/12 ,  B08B 7/00 ,  G21K 5/00 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/304 645 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68

FI (10件)：

B01J 19/12 F ,  B08B 7/00 ,  G21K 5/00 B ,  G21K 5/00 Z ,  H01L 21/02 D ,  H01L 21/304 645 D ,  H01L 21/304 645 Z ,  H01L 21/304 648 L ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/302 N

Fターム (29件)：

3B116AA03 ,  3B116AB01 ,  3B116BC01 ,  3B116CD11 ,  4G075AA30 ,  4G075AA61 ,  4G075AA62 ,  4G075BA05 ,  4G075BA06 ,  4G075BD14 ,  4G075CA05 ,  4G075CA33 ,  4G075CA62 ,  4G075CA63 ,  4G075DA02 ,  5F004AA14 ,  5F004BA19 ,  5F004BB04 ,  5F004BC02 ,  5F004CA02 ,  5F004DA26 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA33 ,  5F031HA58 ,  5F031MA21 ,  5F031MA23 ,  5F031NA01 ,  5F031NA07