基板処理システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小谷悦司 , 伊藤孝夫 , 樋口次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-376446
公開番号（公開出願番号）：特開2007-180238
出願日： 2005年12月27日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：

【課題】既存の構成を生かしながら簡単、かつ安価に基板の生産形態の多様化に対応する。【解決手段】メインパネル4を備えた複合処理装置1と、この複合処理装置1に対して基板を搬入出するインデクサー装置2と、露光装置3と、メインパネル4にイーサネットE1を介して接続されるホストコンピュータ5とをそれぞれ備えた2つの処理システム部A,Bが並び、複合処理装置1に設けられる基板受け渡しユニットを介して両処理システム部A,B同士が連結されるとともに、両処理システム部A,Bのメインパネル4同士がイーサネットE3で互いに接続されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の処理および搬送用の複数のユニットとこれらユニットを制御する処理用コンピュータとを備えた基板処理装置と、この基板処理装置に対して基板を搬入出するインデクサー装置と、基板に露光処理を行う露光装置と、前記処理用コンピュータ、インデクサー装置および露光装置にオンラインで接続されるホストコンピュータとを備えた単位システムが複数並び、前記ユニットとして基板処理装置に設けられる基板受け渡しユニットを介して単位システムの基板処理装置同士が連結されるとともに、各単位システムにおける基板処理装置の前記処理用コンピュータがオンラインで互いに接続されていることを特徴とする基板処理システム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H01L 21/677

FI (3件)：

H01L21/30 562 , H01L21/30 502J , H01L21/68 A

Fターム (11件)：

5F031CA02 , 5F031CA20 , 5F031MA09 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031MA27 , 5F031PA04 , 5F031PA30 , 5F046CD05 , 5F046JA22 , 5F046LA18

引用特許：

出願人引用 (1件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-079321 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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