特許

J-GLOBAL ID：200903019988465168

集積型AFMセンサー駆動回路

発明者： 戸田 明敏 ,  守田 和広 ,  松山 克宏
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-065135
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273159
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】AFM測定中、探針周辺の測定試料あるいは測定試料台に対する電位差をほぼ零に保持することによって、両者間に測定対象以外の力が発生するのを防止する。【構成】支持部より伸びたカンチレバーの表面に、該カンチレバーの歪みに応じて抵抗値の変化する抵抗層101と、上記カンチレバーの自由端側であって、カンチレバーに対して上記支持部とは反対側の面に配設された探針102とを具備する集積型AFMセンサー駆動回路において、AFM測定中は、探針周辺の測定試料102あるいは測定試料台に対する電位差がほぼ零となるように集積型AFMセンサーに電圧を印加する電圧調整手段R1,R2,U4,U5 をさらに具備する。

請求項（抜粋）：

支持部より伸びたカンチレバーの表面に、該カンチレバーの歪みに応じて抵抗値の変化する抵抗層と、上記カンチレバーの自由端側であって、カンチレバーに対して上記支持部とは反対側の面に配設された探針とを具備した集積型AFMセンサー駆動回路において、AFM測定中は、探針周辺の測定試料あるいは測定試料台に対する電位差がほぼ零となるように集積型AFMセンサーに電圧を印加する電圧調整手段をさらに具備したことを特徴とする集積型AFMセンサー駆動回路。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28