特許
J-GLOBAL ID：200903019997316361
固体表面元素分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-006196
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190633
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】 試料表面に形成された深い窪みや溝の内部の元素分析や微量不純物分析を可能とする技術を提供する。【構成】 一次粒子の照射系、試料3、二次粒子の分析系間に偏向電場を設け、一次粒子1の照射方向と二次粒子2の取り出し方向とを同一または両者の開き角を45度以下にすることにより、一次粒子1が試料3の窪みの内面と衝突した時に放出される二次粒子2を再び試料3の内面に接触させないように窪みから引き出せるようにした固体表面元素分析装置である。
請求項（抜粋）：
一次粒子の照射方向と二次粒子の取り出し方向とを同一にするか、または両者の開き角を45度以下にしたことを特徴とする固体表面元素分析装置。
IPC (2件)：
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