基板保持機構、ガイドチップ、および基板回転乾燥装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-016499
公開番号（公開出願番号）：特開2001-210703
出願日： 2000年01月26日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】保持対象基板との接触部分における消耗品の交換に関する諸問題を解決することが可能な基板保持機構等、ならびにそのような消耗部品の交換作業自体を減らすことが可能な基板保持機構等を提供する。【解決手段】基板保持機構に用いられる櫛歯状ガイド(櫛歯状構造CSを有するガイド)は、各基板を保持する複数のガイドチップGCを備える。複数のガイドチップGCのそれぞれは、ガイドプレートGPの所定位置に設けられた特定形状を有する取付部に対して係合可能な着脱部を有し、これによりガイドプレートGPに対して互いに独立に着脱可能である。ガイドチップGCの消耗時においては、交換が必要なガイドチップGCのみを容易に交換できる。また、ガイドチップGCの谷部Vの壁面は、谷部の谷線方向に関して凸曲面となっているので、基板の損傷確率が低減される。

請求項（抜粋）：

複数の基板の配列を保持する基板保持機構であって、前記複数の基板の配列方向に延び、互いに略平行に配置される複数本のガイド、を備え、前記複数本のガイドのうちの少なくとも1本のガイドは、前記複数の基板の配列方向に延びるガイドプレートと、それぞれが前記複数の基板のうちの一部の基板を保持するものとして、前記ガイドプレート上において前記複数の基板の配列方向に配置される複数のガイドチップと、を有する櫛歯状ガイドであり、前記複数のガイドチップのそれぞれは、前記ガイドプレートに対して互いに独立に着脱可能であることを特徴とする基板保持機構。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , F26B 5/08 , H01L 21/304 651

FI (3件)：

H01L 21/68 N , F26B 5/08 , H01L 21/304 651 C

Fターム (12件)：

3L113AC76 , 3L113BA34 , 3L113DA22 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA09 , 5F031FA19 , 5F031JA34 , 5F031KA02 , 5F031KA13 , 5F031MA23

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