特許

J-GLOBAL ID：200903020003684845

基板搬送ロボットの基準位置教示方法

発明者： 前川 賢一
出願人/特許権者： 株式会社ダイヘン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-273058
公開番号（公開出願番号）：特開2007-088110
出願日： 2005年09月21日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】基板搬送ロボットの基準位置の教示作業において、非常に大きな基板を扱う場合でも作業者の能力によるバラつきを改善し、作業時間を可及的に減少することができる基板搬送ロボットの基準位置教示方法を提供する。【解決手段】基板搬送ロボットの先端にはカセットまたは基板処理装置内に配設された基板を載置する棚を撮像するカメラを備え、かつ前記基板を載置する棚には基板のズレを認識するセンサーが備えてあり、基板を搬送させてカメラによって基板を載置する棚の所望の位置を認識し、センサーによって基板のずれ量を検出しながら基板搬送ロボットの前記カセットまたは基板処理装置内の所望の位置に基板を載置するように基準位置を位置決めすることを特徴とする基板搬送ロボットの基準位置教示方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を収納したカセットと、 基板を処理する基板処理装置との間で、 所定の場所に基板を搬入出する基板搬送ロボットの基準位置教示方法において、 前記基板搬送ロボットの先端には前記カセットまたは前記基板処理装置内に配設された基板を載置する棚を撮像するカメラを備え、かつ前記基板を載置する棚には基板のズレを認識するセンサーが備えてあり、 基板を搬送させて前記カメラによって基板を載置する前記棚の所望の位置を認識し、前記センサーによって基板のずれ量を検出しながら 基板搬送ロボットの前記カセットまたは前記基板処理装置内の所望の位置に基板を載置するように基準位置を位置決めする 基板搬送ロボットの基準位置教示方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/22 ,  G05B 19/42

FI (3件)：

H01L21/68 F ,  B25J9/22 ,  G05B19/42 H

Fターム (33件)：

3C007BS15 ,  3C007KS03 ,  3C007KS05 ,  3C007KT01 ,  3C007KT05 ,  3C007KV11 ,  3C007KX19 ,  3C007LS04 ,  3C007LS05 ,  3C007NS13 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031JA04 ,  5F031JA25 ,  5F031JA27 ,  5F031JA51 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA29 ,  5F031PA18 ,  5H269AB17 ,  5H269AB33 ,  5H269BB09 ,  5H269CC09 ,  5H269DD05 ,  5H269JJ20 ,  5H269QC10 ,  5H269SA03 ,  5H269SA08 ,  5H269SA29

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平4-23010号公報