特許

J-GLOBAL ID：200903020003892669

静電型微小アクチュエータとその製造方法

発明者： 和田 恭雄 ,  橋詰 富博
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-136438
公開番号（公開出願番号）：特開平10-337049
出願日： 1997年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 従来構造の静電型アクチュエータでは、力Fを大きくするために、いくら最小加工寸法を小さくしてもその効果は非常に限定されており、電極間隔を小さくする技術を提供すること。【解決手段】 静電型微小アクチュエータの電極を少なくとも複数の、断面がほぼ矩形な導電体により形成し、電極が最小加工寸法の幅を持ち、電極間の距離が実質上最小加工寸法の幅を持ち、かつ電極の厚さよりも小さく、かつ電極部分が、実質上絶縁体で覆われている構造にする。【効果】 同一の最小加工寸法でも、電極間隔を大幅に縮小可能なため、力Fを従来の構造よりも約4倍にできる、高性能な静電型微小アクチュエータが実現可能になる。

請求項（抜粋）：

少なくとも複数の、断面がほぼ矩形な電極からなり、前記電極が最小加工寸法の幅を持ち、前記電極間の距離が実質上最小加工寸法の幅を持ち、かつ前記電極の厚さよりも小さく、かつ前記電極部分が、実質上絶縁体で覆われていることを特徴とする静電型微小アクチュエータ。