特許
J-GLOBAL ID：200903020011795400
空気中の汚染物質の検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-114241
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304734
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルーム等における空気中の微量な汚染物質の検出を簡便かつ精度良くしかも短時間で行う。【解決手段】 総表面積が既知の多数の検出片10を充填した捕集管12を用い、その捕集管に対象空気14を強制吸引することで対象空気中の汚染物質を検出片の表面に吸着せしめ、検出片に吸着された汚染物質を検出片から脱離せしめて分析することで汚染物質の特定と定量を行う。検出片10としては表面積が既知のシリコンウエハ小片を用い、そのシリコンウエハ小片としてはシリコンウエハをへき開面で破砕して同一寸法に形成したものを用いる。
請求項（抜粋）：
空気中の汚染物質を検出する方法であって、捕集管内に多数の検出片を充填しておくとともにそれら検出片の総表面積を予め求めておき、該捕集管に対象空気を強制吸引することで対象空気中の汚染物質を前記検出片の表面に吸着せしめ、該検出片に吸着された汚染物質を検出片から脱離せしめて分析することで汚染物質の特定と定量を行うことを特徴とする空気中の汚染物質の検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 30/00 E
, G01N 1/22 L
