特許

J-GLOBAL ID：200903020019080761

リニアスキャン型共焦点表面形状計測装置

発明者： 石原 満宏
出願人/特許権者： 株式会社高岳製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-051159
公開番号（公開出願番号）：特開2003-247817
出願日： 2002年02月27日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】 共焦点光学系による高速な表面形状計測を実現するリニアスキャン型共焦点表面形状計測装置を提供する。【解決手段】 リニアスキャン型共焦点表面形状計測装置において、周期性を持って配列された複数の開口を有する共焦点開口アレイ3を、リニアに等速走査し、終端までに複数回の焦点移動および焦点移動した位置での共焦点画像入力を終了させて、共焦点開口アレイ3における一回の走査で、一回の表面形状計測を終了させるようにして、高速な表面形状計測を実現する。

請求項（抜粋）：

周期性を持って配列された複数の開口を有する共焦点開口アレイと、像面位置に該共焦点開口アレイが配置された対物レンズと、該共焦点開口アレイを該対物レンズの像面内で光軸と垂直な方向にリニアに移動させる移動機構と、該対物レンズの有効像面全体を照明する照明光学系と、計測物体で反射して該対物レンズに入射し、該共焦点開口アレイを通過した物体反射光を該照明光学系とは異なる方向へ偏向する偏向光学素子と、該偏向光学素子により偏向した該物体反射光を受光して光電変換し、電気信号として出力する検出器と、該共焦点開口アレイの像を、該偏向光学素子を介して該検出器上に結像せしめる結像光学系と、該対物レンズの焦点位置を、計測物体に対して光軸方向に相対的に移動させる焦点位置変化手段と、該検出器の出力をデジタル信号として入力し、得られた一連の焦点位置の異なるデータを用いて、そのデータを得た焦点位置間隔を超える分解能で、最大値を与える焦点位置を内挿処理を用いて推定し、推定した焦点位置をその点の高さとする処理を実行する画像処理装置とにより構成され、少なくとも、該焦点位置変化手段により計測範囲全体が走査される間は、該共焦点開口アレイは該移動機構により一定速度で移動させられ、該検出器の1回の露光時間は、該共焦点開口アレイ移動方向の開口配列周期の整数倍の移動時間と同じになるよう設定されることを特徴とするリニアスキャン型共焦点表面形状計測装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B 11/00 H ,  G01B 11/24 K

Fターム (27件)：

2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC17 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF08 ,  2F065FF41 ,  2F065FF67 ,  2F065GG12 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL63 ,  2F065MM03 ,  2F065MM16 ,  2F065MM26 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28