特許

J-GLOBAL ID：200903020021659084

半導体装置の測定装置

発明者： 和田 雄二 ,  柴森 昭彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  アキタ電子株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-140407
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334545
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】 測定対象の半導体装置自体の発熱を管理して、半導体装置の測定時に正確な温度を得ることができる半導体装置の測定装置を提供する。【構成】 所定の雰囲気温度に管理され、測定対象の半導体装置が収容される恒温槽1と、この恒温槽1内の温度条件を所定の範囲内に制御する制御部2と、半導体装置の電気的特性を測定するテスタ3とから構成される半導体装置の測定装置であって、恒温槽1の内部には、ステージ5に搭載される半導体装置4の極めて近傍に、測定中の半導体装置4の動的温度を検出するための温度センサ6が配置されており、この温度センサ6によって半導体装置4自体の動的な温度が検出され、この結果に応じてモータ9およびヒータ10のON/OFFが制御部2によって制御されるようになっている。

請求項（抜粋）：

測定対象の半導体装置の電気的特性をテストする測定装置であって、前記半導体装置の電気的特性を測定する際に、この半導体装置の動的な温度状態を管理する手段を有することを特徴とする半導体装置の測定装置。