特許

J-GLOBAL ID：200903020021863749

光学素子成形用部材

発明者： 林 俊明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-262787
公開番号（公開出願番号）：特開平9-110437
出願日： 1995年10月11日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：

【要約】【課題】 基材と膜の密着性が強く、ガラスと融着しにくい光学素子成形用部材を製造する。【解決手段】 WC、Si3 N4 またはサイアロンのいずれか一つを主成分とする基材と、この基材における少なくともガラスと接触する面に形成されたTiとAlの窒化物からなる中間層と、この中間層の上に形成されたAlNを主成分とする膜とを備える。中間層と表面の膜との間に応力が生じにくく、しかも界面が存在しないため、密着性が強い膜となる。

請求項（抜粋）：

WC、Si3 N4 またはサイアロンのいずれか一つを主成分とする基材と、この基材における少なくともガラスと接触する面に形成されたTiとAlの窒化物からなる中間層と、この中間層の上に形成されたAlNを主成分とする膜とを備えていることを特徴とする光学素子成形用部材。