特許

J-GLOBAL ID：200903020047023056

成膜装置、成膜方法および表示装置の製造方法

発明者： 加納 浩志 ,  森 圭三
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-061143
公開番号（公開出願番号）：特開2004-269948
出願日： 2003年03月07日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】長尺状の蒸着源を備える成膜装置および表示装置の製造方法において、基板に被着する材料の膜厚分布の均一化を図るようにすること。【解決手段】本発明は、長尺状の坩堝13の上面に、その坩堝13の長手方向に沿って複数の開口11がライン状に並ぶよう設けられる蒸着源10を備えており、この坩堝13の上面と成膜対象となるガラス基板20とを対向配置した状態で蒸着源10とガラス基板20とを複数の開口11の並ぶ方向と略直交する方向に相対移動させながら坩堝13内の材料を複数の開口11を介して蒸発させてガラス基板20に成膜を行う成膜装置であり、この蒸着源10における長尺状の坩堝13の上面での両端部が各々ガラス基板20の中央寄りに向くよう傾斜しているものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

長尺状の坩堝の上面に、その坩堝の長手方向に沿って複数の開口がライン状に並ぶよう設けられる蒸着源を備えており、前記坩堝の上面と成膜対象となる基板とを対向配置した状態で前記蒸着源と前記基板とを前記複数の開口の並ぶ方向と略直交する方向に相対移動させながら前記坩堝内の材料を前記複数の開口を介して蒸発させて前記基板に成膜を行う成膜装置において、 前記蒸着源は、前記坩堝の上面における両端部が各々前記基板の中央寄りに向くよう傾斜している ことを特徴とする成膜装置。

IPC (3件)：

C23C14/24 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (3件)：

C23C14/24 C ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (13件)：

3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB14 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03