表示パネルの外観検査方法および外観検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-325505
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130814
出願日： 2001年10月23日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】光透過性の基板表面に付着している異物を検出することなく、基板の表面に存在する凹状の欠陥のみを確実に検出することができる。【解決手段】それぞれが光透過性の表基板21および裏基板22を有する液晶表示パネル20を、外観検査装置のステージ11上に載置して、周囲照度を、表基板の表面に付着する異物を目視できない状態で、ステージ11上に設けられた光源12から出射される光を、遮光カバー14の開口部から、表基板21および裏基板22の各側面に照射する。表基板21および裏基板22の表面に凹状の欠陥32が存在する場合には、その反射光が、表基板21の表面から上方に出射されるために、その反射光を目視することによって、表基板21および裏基板22の表面に存在する凹状の欠陥32を検出することができる。

請求項（抜粋）：

光透過性の第1の基板を少なくとも有する表示パネルを、該第1の基板に光が照射されない状態で、該第1の基板における側面に光を照射し、該第1の基板の表面から外部に出射される光に基づいて該第1の基板の表面に存在する凹状の欠陥を検出することを特徴とする表示パネルの外観検査方法。

Fターム (11件)：

2G051AA73 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BA08 , 2G051BA20 , 2G051BB01 , 2G051BB07 , 2G051BC01 , 2G051CA11 , 2G051CC07 , 2G051EA17

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