特許

J-GLOBAL ID：200903020057190309

蒸着装置

発明者： 林 裕人 ,  川井 正一 ,  宮下 耕一
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-217261
公開番号（公開出願番号）：特開2002-030418
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】 蒸着物質の回収手段を設けることなく蒸着物質の効率的な利用が計れ、蒸着物質の放出を短期間に放出したり止めたりすることができる蒸着装置を提供する。【解決手段】 蒸着物質を加熱・蒸発させる蒸発源3と、蒸発した蒸着物質を成膜チャンバ2内に放出する放出部4と、蒸発源から放出部まで蒸着物質を蒸気で移送する移送部5と、成膜チャンバ内に放出部と相対する位置に取付けられた基板6とからなり、放出部から放出された蒸着物質を基板に飛来させて、基板上に薄膜を形成する蒸着装置1において、移送部にバルブ8を設けて蒸着物質の移送を制御できるようにしている。

請求項（抜粋）：

少なくとも、蒸着物質を保持・加熱・蒸発させる蒸発源と、蒸発した蒸着物質を成膜チャンバ内に放出する放出部と、前記蒸発源から前記放出部まで蒸着物質を蒸気で移送する移送部と、前記成膜チャンバ内に前記放出部と相対する位置に取り付けられた基板とからなり、前記放出部から放出された蒸着物質を前記基板に飛来させて、前記基板上に薄膜を形成する蒸着装置において、前記移送部に蒸着物質の移送を制御するバルブを設けたことを特徴とする蒸着装置。

FI (2件)：

C23C 14/24 A ,  C23C 14/24 D

Fターム (5件)：

4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12 ,  4K029DB18