特許
J-GLOBAL ID:200903020061562164

窒化珪素質焼結体及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-315073
公開番号(公開出願番号):特開平5-148027
出願日: 1991年11月29日
公開日(公表日): 1993年06月15日
要約:
【要約】【構成】窒化珪素と、周期律表第3a族元素酸化物(RE2 O3)と、酸化珪素(SiO2 )からなり、SiO2 /RE2 O3 のモル比が2以上の組成の混合物を成形後、焼結し、さらに焼結体の粒界に生成しているガラスの軟化温度Tgと、窒化珪素とRE2 Si2 O7 への結晶化温度Tcの間で一旦保持し、RE2 Si2 O7 の結晶核を発生させ、その後、Tcと、窒化珪素結晶とRE2 Si2 O7 結晶の共晶温度Teの間で保持しRE2 Si2 O7 の結晶核を成長させて熱処理を行い、粒界へのRE2 Si2 O7 結晶の生成を促進し、粒界3重点2における窒化珪素結晶粒子1とRE2 Si2 O7 結晶3との間に存在するアモルファス層4の平均厚みtを5nm以下に制御する。【効果】高温強度に優れ、さらに低温から高温まで耐酸化特性を高めることができる。
請求項(抜粋):
窒化珪素結晶を主相とし、その粒界が主としてRE2 Si2 O7 (RE:周期律表第3a族元素)で表される結晶相より構成され、且つ焼結体中の粒界3重点の前記窒化珪素結晶とRE2 Si2 O7 結晶との間のアモルファス層の平均厚みが5nm以下であることを特徴とする窒化珪素質焼結体。
IPC (2件):
C04B 35/58 102 ,  C04B 35/64
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭55-003397

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