試料作製装置および試料作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-057718
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258130
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】試料作製から観察までの作業が簡便で、試料作製が一つの装置内でできる試料作製方法および装置を提供する。【解決手段】少なくとも、集束イオンビームの照射光学系と、上記集束イオンビームの照射によって試料片から発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、上記集束イオンビームの照射領域にデポ膜を形成する原料ガスを供給するデポガス源と、上記試料片を載置し、分析試料を固定する試料ホルダを載置するサイドエントリ型の試料ステージと、上記試料片の一部を分離した摘出試料を上記試料ホルダに移し変える移送手段とで試料作製装置を構成する。

請求項（抜粋）：

集束イオンビームの照射光学系と、上記集束イオンビームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、上記集束イオンビームの照射領域にデポジション膜を形成する原料ガスを供給するデポガス源と、上記試料片の一部を分離した摘出試料を試料ホルダに移し変える移送手段と、上記試料片と上記摘出試料とを載置するサイドエントリ型の試料ステージとを少なくとも具備することを特徴とする試料作製装置。

IPC (5件)：

G01N 1/32 , G01N 1/28 , G01N 23/225 , G01N 23/227 , G01N 37/00

FI (5件)：

G01N 1/32 A , G01N 23/225 , G01N 23/227 , G01N 37/00 A , G01N 1/28 F

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