特許

J-GLOBAL ID：200903020066977850

ワイヤボンデイング装置

発明者： 竹内 隆志
出願人/特許権者： 株式会社新川
代理人 (1件)： 田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-319049
公開番号（公開出願番号）：特開平7-147297
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】ボンデイングホーンと鏡筒又はカメラ支持アームの熱膨張を防止し、ボンデイング位置ずれをより少なくしてボンデイング精度の向上を図る。【構成】試料を加熱するヒートブロックの輻射熱を遮断する断熱板10をボンデイングホーン2の下方に配設し、更にボンデイングホーン2及び検出カメラの鏡筒7又は検出カメラを支持するカメラ支持アームに冷却エアを吹き付けるホーン冷却用パイプ11、12及び鏡筒冷却用パイプ13を配設した。

請求項（抜粋）：

キャピラリを一端に保持するボンデイングホーンと、試料を検出する検出カメラとを備え、試料の半導体ペレットのパッドとリードフレームのリード部とをキャピラリに挿通したワイヤで接続するワイヤボンデイング装置において、試料を加熱するヒートブロックの輻射熱を遮断する断熱板を前記ボンデイングホーンの下方に配設し、更に前記ボンデイングホーン及び前記検出カメラの鏡筒又は検出カメラを支持するカメラ支持アームに冷却エアを吹き付ける冷却エア供給手段を配設したことを特徴とするワイヤボンデイング装置。