特許
J-GLOBAL ID：200903020069707188
IC搭載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-176953
公開番号（公開出願番号）：特開平7-038296
出願日： 1993年07月16日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 セミクローズド制御により、リニアスケールを使用したフルクローズド制御と同様な精度を確保でき、記憶用データも多量でないIC搭載装置。【構成】 位置較正データ部17には、IC搭載位置近辺の較正範囲内で、XYステージ5により基板保持部7を移動させることにより、エンコーダ20の出力はリニアスケール6の出力で較正され、較正データが予め格納される。また、基板保持部7と吸着ノズル10とに保持されるた基板およびICは、基板保持部および吸着ノズルの規定保持位置からそれぞれどの程度ずれているかをカメラ13,14および認識装置4が検出し、相対誤差を算出する。制御部1は、IC移載装置10,11,12を駆動して吸着ノズルをIC搭載位置に設定させ、先に算出した相対誤差と較正データとを参照することにより、基板保持部に保持された基板を、IC保持部に保持されたICに位置合わせさせる。
請求項（抜粋）：
指示されたIC搭載位置を記憶する搭載位置記憶部と、基板保持部で保持した基板を平面内においてエンコーダ付駆動装置で移動し、エンコーダ出力を参照しつつ基板をIC搭載位置に設定する基板移動装置と、IC保持部で保持したICをIC搭載位置に移動し、IC搭載位置に設定された基板上に、ICを搭載するIC移載装置とからなるIC搭載装置において、前記基板移動装置によって移動させられる基板保持部の位置を検出するリニアスケールと、前記搭載位置記憶部に記憶されるIC搭載位置に前記基板を移動したとき、発生すると予測される位置的誤差をカバーできる程の範囲を示す較正範囲を記憶する較正範囲記憶部と、前記基板保持部の規定保持位置から、どれだけずれた位置で基板が保持されているか観察するために、基板認識位置に配設された基板保持位置検出装置と、前記IC保持部の規定保持位置から、どれだけずれた位置でICが保持されているか観察するために、IC認識位置に配設されたIC保持位置検出装置と、前記IC搭載位置における較正範囲内で、基板保持部を移動させることにより、エンコーダの出力をリニアスケールの出力で較正し、較正データを予め較正データ記憶部に記憶させるデータ処理部とを有し、さらに前記データ処理部は、前記基板保持部とIC保持部とにそれぞれ基板とICとが保持されると、前記基板移動装置を駆動して前記基板保持部を基板認識位置に設定し、基板保持位置検出装置を介して、基板が規定保持位置から、どれだけずれた位置で保持されているかの基板保持位置誤差を検出し、IC移載装置を駆動してIC保持部をIC搭載位置に移動し、規定保持位置から、どれだけずれた位置でICが保持されているかのIC保持位置誤差を検出し、基板保持位置誤差とIC保持位置誤差とから相対誤差を算出し、前記IC移載装置を駆動して前記IC保持部をIC搭載位置に設定させ、先に算出した相対誤差と較正データとを参照することにより、前記基板移動装置をエンコーダ付駆動装置で駆動して前記基板保持部に保持された基板を、前記IC保持部に保持されたICに位置合わせさせることを特徴とするIC搭載装置。
IPC (2件)：
H05K 13/04
, B23P 21/00 305
