特許
J-GLOBAL ID：200903020071638606
光導波路型回折格子の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-332380
公開番号（公開出願番号）：特開平7-191210
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 反射率の十分大きい光導波路型回折格子を容易に作製する方法を提供する。【構成】 紫外光を干渉させることにより干渉縞を生じさせ、この干渉縞を生じさせた紫外光を、酸水素火炎により加熱したガラス光導波路に照射する。ゲルマニウムがドープされたコアに紫外光が入射すると、主として、紫外光の干渉縞のうち光強度の大きい部分がコアの屈折率に変化を生じさせるので、コアに周期的な屈折率変化が生じる。その結果、光導波路内に、干渉縞のピッチに依存して決まる所定ピッチの回折格子が形成される。酸水素火炎による加熱処理を施したことにより、コア内の酸素欠損型の欠陥が増えているので、紫外光の照射によるコアの屈折率変化も大きくなり、得られる光導波路型回折格子の反射率が格段に上昇する。
請求項（抜粋）：
紫外光を干渉させることにより干渉縞を生じさせ、この干渉縞を生じさせた紫外光を、酸水素火炎により加熱したガラス光導波路に照射して、前記ガラス光導波路のコアに所定ピッチの回折格子を形成することを特徴とする光導波路型回折格子の作製方法。
IPC (3件)：
G02B 5/18
, G02B 6/12
, G02B 6/34
