特許

J-GLOBAL ID：200903020076923589

インターロック装置

発明者： 菊地 利浩 ,  菊池 明彦
出願人/特許権者： 東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247305
公開番号（公開出願番号）：特開平6-075601
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 センサの検出信号を用いて制御対象にインターロックをかけるにあたって、配線量を少なくし、かつ複雑なインターロック条件を設定できるようにすること。【構成】 センサの検出信号を多重化回路3を介してCPU11に多重伝送を行う装置において、パラレル信号路21に分岐パラレル信号路41を介してデマルチプレクサ51を接続し、CPU11からのアクセスが行われないときにアドレス回路52からアドレス信号を出力してセンサS1〜Snの検出信号をデマルチプレクサ51に取り込み、ラッチ回路L1〜Lnに復元して出力させる。各モータM1〜Mkに対応して夫々PLD6を用意し、インターロック条件に使われるセンサS1〜Snに対応するラッチ回路の出力端を選択して各PLD6に接続すると共に、各PLD毎にインターロック信号を出力する入力条件を設定する。

請求項（抜粋）：

被検出物の状態を検出する複数のセンサと、これらセンサからの検出信号を多重化する多重化回路と、この多重化回路にて多重化された検出信号を伝送路を通じて取り込み、検出信号にもとづいて制御対象を制御する制御部とを備えた装置において、前記伝送路に分岐伝送路を介して接続され、多重化回路にて多重化された検出信号を、制御部にて検出信号のアクセスが行われないときに、取り込み復元して出力する復元回路と、この復元回路の出力側に接続され、入力されたセンサの検出信号が予め定めた組み合わせとなったときに制御対象に対してインターロック信号を出力する出力回路と、を設けたことを特徴とするインターロック装置。