特許
J-GLOBAL ID:200903020082350779
試料ガスのイオン化方法およびイオン化装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
牛久 健司
, 井上 正
, 高城 貞晶
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-049312
公開番号(公開出願番号):特開2004-257873
出願日: 2003年02月26日
公開日(公表日): 2004年09月16日
要約:
【目的】選択的イオン化が可能なペニングイオン化においてイオン化効率を高める。【構成】イオン化空間内に希ガスを導入するとともに,放電を生起させることによって希ガスの準安定励起種を生成し,イオン化空間内に試料ガスを導入して,希ガスの準安定励起種との衝突によりペニングイオン化を生じさせ,ペニングイオン化によって正イオン化された原子または分子から放出される電子を,イオン化空間内に配置された電子捕捉用電極に正電位を与えて捕捉し,正イオン化された原子または分子を質量分析装置側に誘導する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
イオン化空間内に希ガスを導入するとともに,希ガスを励起することによって希ガスの準安定励起種を生成し,
上記イオン化空間内に試料ガスを導入して,希ガスの準安定励起種との衝突によりペニングイオン化を生じさせ,
上記イオン化空間内に配置された電子捕捉用電極に正電位を与えて,ペニングイオン化によって正イオン化される原子または分子から放出された電子を捕捉し,
正イオン化された原子または分子を質量分析装置側に誘導する,
試料ガスのイオン化方法。
IPC (4件):
G01N27/68
, G01N27/62
, H01J49/10
, H01J49/14
FI (4件):
G01N27/68 B
, G01N27/62 Z
, H01J49/10
, H01J49/14
Fターム (4件):
5C038GG08
, 5C038GG13
, 5C038GH04
, 5C038GH08
引用特許:
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