特許
J-GLOBAL ID：200903020092994810
イオン質量分離装置、イオン注入装置、及びイオン質量分離方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-307022
公開番号（公開出願番号）：特開2005-078912
出願日： 2003年08月29日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【課題】 輸送空間内の空間電荷を中和することによってイオンビームの輸送効率を向上させることができ、かつメンテナンスのコストを低減できるイオン質量分離装置、その装置を備えたイオン注入装置、及びイオン質量分離方法を提供すること。【解決手段】 イオン偏向ケーシング21の外部に、導体24を所定の間隔で螺旋状に巻くことにより所要長さに形成した空芯励磁電流路25と、イオン偏向ケーシング入口部22における導体24と重なる間隔位置に配置したイオン引出し電極27と、イオン引出し電極27に隣接したイオン発生装置40と、イオン偏向ケーシング出口部23に配置したイオン加速電極28と、イオン偏向ケーシング21内の上流側にのみ配置したフィラメント31とを備え、フィラメント31が、イオン偏向ケーシング21内に熱電子を供給する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
イオン偏向ケーシングの外部に、導体を所定の間隔で螺旋状に巻くことにより所要長さに形成した空芯励磁電流路と、イオン偏向ケーシング入口部における前記導体と重なる間隔位置に配置したイオン引出し電極と、前記イオン引出し電極に隣接したイオン発生装置と、イオン偏向ケーシング出口部に配置したイオン加速電極と、前記イオン偏向ケーシング内の上流側にのみ複数配置したフィラメントとを備え、前記フィラメントが、前記イオン偏向ケーシング内に熱電子を供給するイオン質量分離装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J37/317 Z
, H01L21/265 603B
