特許

J-GLOBAL ID：200903020095387752

膜厚分布計測装置

発明者： 小島 英嗣
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-035304
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249621
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 ウェブの現在の幅方向の膜厚分布を推定する。【構成】 膜厚分布推定器31は、近似関数のパラメータ数Nのパラメータ群を、点膜厚計測値dの時系列と幅方向位置xと評価関数とを用いて推定し、この推定したパラメータ群で規定される近似関数で膜厚分布を推定する。オペレータ25は、設定器32を用いて、目的に応じて、表示に使用するパラメータ群のパラメータ数M(M≦N)を設定する。粗膜厚分布計算器33は、膜厚分布推定器31によって推定された膜厚分布を設定器32で設定されたパラメータ数Mにまで限定して、粗い膜厚分布を求める。この計算された粗い膜厚分布がディスプレイ34に表示される。

請求項（抜粋）：

所定長の幅を有し流れ方向に流れてくるウェブの幅方向の膜厚分布を計測する装置であって、前記ウェブの前記流れ方向の所定位置に配置されると共に前記ウェブの幅方向に移動可能で、前記ウェブの点膜厚を計測して点膜厚計測値を出力する膜厚計と、該膜厚計を前記ウェブの幅方向に前記ウェブの両端間で往復移動させることによって前記膜厚計の計測点の幅方向位置を変えるスキャニング装置とを有し、前記膜厚計と前記スキャニング装置とによって、前記ウェブ上をジグザグ状に移動して前記点膜厚を順次計測し、該点膜厚計測値の時系列に基づいて、前記膜厚計の計測点上における現時点の前記ウェブの幅方向の膜厚分布を計測する膜厚分布計測装置において、前記ウェブの幅方向の膜厚分布を近似すると共にN(N≧3)個のパラメータからなるパラメータ群で規定される所定の近似関数が与えられ、前記パラメータ群を前記点膜厚計測値の時系列と前記幅方向位置と所定の評価関数とを用いて推定し、該推定したパラメータ群で規定される前記近似関数で前記膜厚分布を推定する膜厚分布推定器を備えたことを特徴とする膜厚分布計測装置。