特許

J-GLOBAL ID：200903020107134103

電極パターン検査方法

発明者： 石井 彰一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-000885
公開番号（公開出願番号）：特開2002-207995
出願日： 2001年01月09日
公開日（公表日）： 2002年07月26日
要約：

【要約】【課題】 PDPやその他同様の構造を持つFPDの電極のパターン検査を精度良く行うことができる電極パターン検査方法を提供する。【解決手段】 撮像素子で取り込んだ電極部の画像に対して、繰り返しパターン除去工程と、残された非繰り返しパターンに対して電極延設方向の座標のヒストグラムを計算するヒストグラム生成工程と、非繰り返しパターンを電極内部と電極間とに分離する電極/ギャップ分離工程と、フェンス電極内部と電極間に分離された非繰り返しパターンを個別のしきい値で良否判定する欠陥判定工程と、電極内部全体を識別符号で表現するマトリックス生成工程と、電極内部をトレースしていき電極の導通の有無を判断する導通確認工程とを有することで、フェンス電極に対して欠陥検出を行うことができるようにした。

請求項（抜粋）：

フラットパネルディスプレイの電極パターンを検査する電極パターン検査方法であって、取り込んだ電極パターンの画像に対して、繰り返しパターンを除去する繰り返しパターン除去工程と、残された非繰り返しパターンに対して電極延設方向の座標のヒストグラムを計算するヒストグラム生成工程と、前記非繰り返しパターンと前記ヒストグラムとに基づいて良否を判定する検査工程とを備えることを特徴とする電極パターン検査方法。

IPC (2件)：

G06T 1/00 305 ,  G06T 7/00 300

FI (2件)：

G06T 1/00 305 A ,  G06T 7/00 300 G

Fターム (22件)：

5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA06 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CF04 ,  5B057CF10 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB08 ,  5B057DC14 ,  5B057DC19 ,  5L096AA07 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096EA35 ,  5L096EA37 ,  5L096FA19 ,  5L096FA35 ,  5L096FA73 ,  5L096GA34 ,  5L096GA51