特許
J-GLOBAL ID：200903020122085887
マイクロ波加熱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349748
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172012
出願日： 1992年12月01日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】 誘電損率の温度依存性が大きく熱伝導率が小さな材料、例えば、PZTセラミックス等をマイクロ波によって加熱むらなく加熱でき、均一に焼結することが可能な装置を提供する。【構成】 マイクロ波を発生させるマイクロ波発生手段1と、被焼結体6を加熱・焼結するための空胴共振器2と、前記マイクロ波発生手段から空胴共振器にマイクロ波を伝送する導波管3と、該導波管から前記空胴共振器にマイクロ波を導入し該空胴共振器内の共振を維持する結合窓4と、被焼結体の少なくとも一部を覆うように配置され、誘電損率が大きくて、マイクロ波を吸収し易く、かつ前記被焼結体よりも誘電損率の温度依存性が小さなマイクロ波吸収体7と、前記被焼結体とマイクロ波吸収体の少なくとも一部を覆うように配置され、誘電損率が小さくマイクロ波を透過し易い低損失体8とからなる。
請求項（抜粋）：
マイクロ波を発生させるマイクロ波発生手段と、被焼結体を加熱・焼結するための空胴共振器と、前記マイクロ波発生手段から空胴共振器にマイクロ波を伝送する導波管と、該導波管から前記空胴共振器にマイクロ波を導入し該空胴共振器内の共振を維持する結合器と、前記空胴共振器内に配置された被焼結体支持手段と、該被焼結体支持手段に支持された被焼結体の少なくとも一部を覆うように配置され、誘電損率が大きくてマイクロ波を吸収し易く、かつ被焼結体よりも誘電損率の温度依存性が小さなマイクロ波吸収体と、前記被焼結体とマイクロ波吸収体の少なくとも一部を覆うように配置され、誘電損率が小さくマイクロ波を透過し易い低損失体と、からなることを特徴とする被焼結体にマイクロ波を照射して被焼結体を焼結するためのマイクロ波加熱装置。
IPC (3件)：
C04B 33/32
, C04B 35/49
, C04B 35/64
