特許
J-GLOBAL ID：200903020141732273
真空ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018579
公開番号（公開出願番号）：特開平11-210655
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：
【要約】【課題】 様々な排気特性を持つ真空ポンプを容易に実現する。【解決手段】 第1のポンプ部分Aとモータ駆動部から構成される部分をポンプ共通の基本ユニットとして、この共通基本ユニットに対し、第2のポンプ部分Bを着脱可能に構成する。
請求項（抜粋）：
ハウジング内に収納された複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記複数個の軸のそれぞれに締結されたロータと、前記複数個の軸を同期運転しながら回転駆動する手段と、前記ハウジングに形成された流体の吸入口及び吐出口と、前記ロータおよび前記ハウジングで形成される密閉空間の前記吸入口側から前記吐出口側への移動を利用して、前記吐出口側に設けられた粘性流領域で気体を輸送する容積式の第一のポンプ部分と前記吸入口側に設けられた中間流領域および中間流領域以下の圧力で気体を輸送する容積式の第二のポンプ部分を備えた真空ポンプにおいて、前記第一のポンプ部分は一対の第一のロータと前記ハウジンングで構成され、その同軸上で前記第二のポンプ部分は一対の第二のロータと前記ハウジングで構成され、かつ前記第一のロータとは別部品で構成された前記第二のロータは前記軸に対して着脱可能であることを特徴とする真空ポンプ
IPC (2件)：
FI (3件)：
F04C 25/02 M
, F04C 29/00 D
, F04C 29/00 B
