特許

J-GLOBAL ID：200903020143987198

電子部品用治具の製造法及び該製造法で製造した電子部品用治具

発明者： 太田 幸次郎 ,  八木岡 克明 ,  石井 隆夫
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-002626
公開番号（公開出願番号）：特開平8-191116
出願日： 1995年01月11日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 黒鉛基材へのガラス状炭素被膜の結合力が強く、使用時に製品や周囲を汚染することのない電子部品用治具の製造法及び該製造法で製造した電子部品用治具を提供する。【構成】 界面活性剤を添加した数平均分子量(Mn)が270〜370のフェノール・ホルムアルデヒド樹脂の溶液を気孔率が10〜18%の黒鉛基材に塗布し、加熱して樹脂を硬化させた後、非酸化性雰囲気で熱処理して黒鉛基材の表面にガラス状炭素の被膜を形成する電子部品用治具の製造法及び該製造法で得られた電子部品用治具。

請求項（抜粋）：

界面活性剤を添加した数平均分子量(Mn)が270〜370のフェノール・ホルムアルデヒド樹脂の溶液を気孔率が10〜18%の黒鉛基材に塗布し、加熱して樹脂を硬化させた後、非酸化性雰囲気で熱処理して黒鉛基材の表面にガラス状炭素の被膜を形成することを特徴とする電子部品用治具の製造法。