光学部品の蒸着方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-197326
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039103
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】光学部品において他の面を汚さず、所望の面のみを蒸着する光学部品の蒸着方法を提供すること。【解決手段】蒸着により光学部品に薄膜を形成するにあたり、蒸着中の面以外の少なくとも一面を蒸着条件で不純物を揮散しない保護板で被覆しておくことを特徴とする光学部品の蒸着方法。

請求項（抜粋）：

蒸着により光学部品に薄膜を形成するにあたり、蒸着中の面以外の少なくとも一面を蒸着条件で不純物を揮散しない保護板で被覆しておくことを特徴とする光学部品の蒸着方法。

IPC (2件)：

G02B 1/10 , C23C 14/04

FI (2件)：

G02B 1/10 Z , C23C 14/04 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

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