ランド付基板の検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：菅原正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-158074
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351837
出願日： 1998年06月05日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 1台の検査装置により、ランドの寸法や面積あるいは形成位置の検査に加え、ランド高さレベルの検査も迅速に行うことができるランド付基板の検査装置を提供する。【解決手段】レーザー光等の光LBを、ランドが形成された基板1の検査面上にて二次元的に走査し、その検査面からの反射光RBを受光部22で受ける。そして、その受光部22を、例えば半導体位置検出器など、その反射光の輝度及び反射光の受光位置(反射面の高さレベルを反映したものとなる)に応じて検知出力を変化させるもので構成し、その検知出力から検査面CP上の各位置の反射光輝度情報と高さレベル情報とを生成する。そして、その各位置の反射光輝度情報から、検査面CP上の各ランドの存在領域を特定でき、その特定されたランド存在領域内の各位置の高さレベル情報から、ランド高さレベルを特定できる。

請求項（抜粋）：

基板本体の一方の板面上に複数のランドが二次元的に配列・形成されるとともに、前記ランド間に露出している前記基板本体の表面(以下、バックグラウンド表面という)が、所定の検査光に対し前記ランド表面とは異なる反射率を有するランド付基板の検査装置であって、前記ランド付基板の、少なくとも前記複数のランドの配列された領域を検査面として、該検査面に前記検査光を照射する光源と、前記検査面からの前記検査光に基づく反射光を受光するとともに、その反射光の輝度及び反射光の受光位置に応じて検知出力を変化させる受光部と、前記検査光を前記検査面内にて二次元的に走査する光走査手段と、前記受光部の反射光受光位置を反映した検知出力に基づいて、前記検査面内の各位置の高さレベルに関する情報(以下、高さレベル情報という)を生成する高さレベル情報生成手段と、前記受光部の反射光輝度を反映した検知出力に基づいて、前記検査面上の各位置における反射光輝度情報を生成する反射光輝度情報生成手段と、を備えた測定系と、その生成された反射光輝度情報に反映される前記バックグラウンド表面の反射光輝度と前記ランド表面の反射光輝度との差異に基づき、前記検査面における前記ランドの存在領域を特定するランド存在領域特定手段と、その特定されたランド存在領域内の各位置の高さレベル情報に基づいて、個々のランドの表面高さレベルに関連した情報(以下、ランド高さレベル情報という)を含む検査情報を生成する検査情報生成手段と、その生成された検査情報を出力する検査情報出力手段と、を備えたことを特徴とするランド付基板の検査装置。

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