電子銃とそれを用いた露光装置および露光方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大胡典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-089172
公開番号（公開出願番号）：特開2000-285839
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】サプッレッサーやイクストラクタに磁性材料(例えば電磁軟鉄)を用いた電子銃と、その電子銃を搭載した露光装置と、その露光方法。【解決手段】サプッレッサー2やイクストラクタ3に磁性材料(例えば電磁軟鉄)を使用すると同時に、高温対策としてその電極部2、3に冷却機能(冷却パイプ10a、10b)を付加する。さらに、電気的絶縁物9b、9cにガラスなどの熱伝導的絶縁機能を相兼ね備えさせた材料を用い、冷却効率を向上させる。

請求項（抜粋）：

真空容器と、この真空容器内に配置され電子ビームを発生する陰極と、この陰極で発生した電子ビームに磁場を印加する磁極ユニットと、前記陰極で発生した電子ビームをビーム軸方向に加速して電子ビームの通路を形成する陽極と、この陽極と前記陰極との間に配置されて前記陽極で加速された電子ビームを前記ビーム軸上に収束させる電界を発生する電子レンズとを有する電子銃において、前記電極の少なくとも一つは、透磁率が10以上の高透磁率材料により形成されていることを特徴とした電子銃。

IPC (5件)：

H01J 37/065 , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 521 , H01J 37/073 , H01L 21/027

FI (5件)：

H01J 37/065 , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 521 , H01J 37/073 , H01L 21/30 541 B

Fターム (15件)：

2H097AA03 , 2H097BB01 , 2H097CA01 , 2H097CA16 , 2H097EA01 , 2H097LA10 , 5C030BB05 , 5C030BB06 , 5C030BB12 , 5C030BB17 , 5C030CC01 , 5C030CC03 , 5F056CB02 , 5F056CD05 , 5F056EA02

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