特許
J-GLOBAL ID：200903020162934674
センサ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前川 幾治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-341730
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159319
出願日： 1993年12月09日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】光励起表面プラズマ共鳴振動を利用したセンサ装置において、センサヘッドの小型構成を維持しつつ、被検試料の温度変化に拘わらず正しい測定結果が得られるように温度補正を簡易に実現すると共に、温度に依存しない実時間の連続測定を可能にし、さらには機能性の向上と共に測定精度の向上を図ること。【構成】点状光源1からの光路に沿って、コリメータレンズ2と、第1のシリンドリカルレンズ3と、被検試料21,22,...を接触させる表面プラズモン励起用金属薄膜4bを一面に設けた高屈折率のプリズム4と、第2のシリンドリカルレンズ5とを備え、この第2のシリンドリカルレンズ5の後側焦平面上に設けられる固体撮像素子を2次元固体撮像素子6としたことを特徴とするセンサ装置。
請求項（抜粋）：
点状光源からの光路に沿って、コリメータレンズと、第1のシリンドリカルレンズと、被検試料を接触させる表面プラズモン励起用金属薄膜を一面に設けた高屈折率のプリズムと、第2のシリンドリカルレンズと、この第2のシリンドリカルレンズの後側焦平面上に設けられる固体撮像素子とを備え、この固体撮像素子からの信号を処理するデータ処理手段を有するセンサ装置において、前記固体撮像素子を2次元固体撮像素子としたことを特徴とするセンサ装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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