特許

J-GLOBAL ID：200903020164974541

基板の貼合わせ装置、及び貼合わせ方法

発明者： 小嶋 純一
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-294323
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098533
出願日： 2001年09月26日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】 液晶表示パネル等の製造において、大画面を形成する基板の貼合わせを効率的に行う。【解決手段】 下基板1Dが載置されたステージ42には、下基板1Dの左右両外側から内側に向け押し込み調整自在な調整具45が設けられるとともに、その押し込みによりたわんだ下基板1Dが湾曲面を形成するように、多数のピン46aが下基板1Dの下面を支持するように構成されている。従って、ステージ42面上の下基板1Dよりも、吸着ヘッド41に吸着されてぶら下がった上基板1Uの方が、見掛上長さ寸法が短くなり、位置合わせが困難となっても、調整具45等による下基板1Dのたわみ調整により、上下基板1U,1Dの各位置決め用のマーク位置を一致させることができ、画像認識による適切な位置合わせ及び貼り合わせを行うことができる。

請求項（抜粋）：

外縁部に位置決め用のマークが付された上基板を吸着保持する吸着ヘッドと、前記上基板と重ね合わせて貼り合わされる下基板を載置するステージと、このステージに載置された下基板の辺が対向する両外側縁を、外側から支持し内側に向け押し込み調整自在に設けられた調整具と、この調整具の操作により前記対向する両外側縁から内側方向に押し込まれた下基板が、前記両外側縁を起点とした湾曲面を形成するように前記下基板を下方から支持する支持機構と、この支持機構に支持された前記下基板と、この下基板に対向する前記上基板とを接着剤を介して貼り合わせる押圧機構とを具備することを特徴とする基板の貼合わせ装置。

IPC (3件)：

G02F 1/1339 505 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 338

FI (3件)：

G02F 1/1339 505 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 338

Fターム (13件)：

2H088FA01 ,  2H088FA16 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H089NA38 ,  2H089NA60 ,  2H089QA16 ,  2H089TA01 ,  2H089TA06 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10