荷電粒子線装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-147545
公開番号（公開出願番号）：特開平10-055773
出願日： 1991年07月18日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】小形・軽量化された荷電粒子線装置を提供すること。特に、超高真空排気系を内蔵した小形・軽量でかつ高性能を有する鏡筒部構造を提供すること。【解決手段】荷電粒子源1の近傍を高真空排気するために、鏡筒部内にイオンポンプが内蔵されている。このイオンポンプは、マグネットユニット(永久磁石)15,ヨーク(磁性体)14,電極16等より構成されており、マグネットユニット15自体が鏡筒部内に内蔵されている。また、上記ヨーク14の内側空間内に荷電粒子源1からの荷電粒子線を集束・偏向させるための荷電粒子線集束光学系が配置されている。さらに、マグネットユニット15のNS両磁極は上記ヨーク14によって包囲され、NS両磁極とヨーク14間にそれぞれ形成される間隙内にそれぞれ電極16が配置されている。【効果】鏡筒部構造を小形・軽量化することができ、小型・高性能の荷電粒子線装置が得られる。また、内蔵イオンポンプを小型・高排気効率にできる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を放射させるための荷電粒子線源と該荷電粒子線源からの荷電粒子線を試料面上に集束させるための荷電粒子線集束光学系とを収容してなる鏡筒部を有する荷電粒子線装置において、上記鏡筒部の内部であって上記荷電粒子線集束光学系の外周には磁性体が配置され、該磁性体と上記鏡筒部の内壁間には前記荷電粒子線源の内部空間を真空排気するためのイオンポンプが内蔵されており、該イオンポンプを動作させるための永久磁石の両方の磁極は上記磁性体によって包囲されており、かつ、上記両方の磁極と上記磁性体との間のそれぞれの間隙内に上記イオンポンプを構成する一対の電極がそれぞれ配置されてなることを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/18 , H01J 37/16 , H01J 41/12

FI (3件)：

H01J 37/18 , H01J 37/16 , H01J 41/12

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