特許

J-GLOBAL ID：200903020171476522

複層セラミックスヒーター

発明者： 川田 敦雄 ,  久保田 芳宏 ,  原田 今朝治 ,  萩原 浩二
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-025645
公開番号（公開出願番号）：特開平5-194046
出願日： 1992年01月16日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は製作が容易で長寿命である、III-V族化合物半導体ウエハ加熱用に好適とされる複層セラミックスヒーターの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の複層セラミックスヒーターは、電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスからなる発熱層を接合してなる複層セラミックスヒーターにおいて、該電気絶縁性セラミックスと該導電性セラミックスの熱膨張係数の差を1×10-6/°C以下としてなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスからなる発熱層を接合してなる複層セラミックスヒーターにおいて、該電気絶縁性セラミックスと該導電性セラミックスの熱膨張係数の差を1×10-6/°C以下としてなることを特徴とする複層セラミックスヒーター。

IPC (5件)：

C04B 37/00 ,  C04B 35/58 103 ,  C04B 35/58 ,  C04B 41/87 ,  H05B 3/14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-009841
  
• 特開昭56-011873
  
• 特開昭51-138897
  
• 特開平2-234402