特許

J-GLOBAL ID：200903020172339391

液晶表示装置およびその製造方法

発明者： 杉本 修 ,  今井 元
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-357982
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174844
出願日： 1999年12月16日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 配線の下に配置された絶縁膜を該配線をマスクとしてエッチング除去してパターン形成する際に、該パターン端部が逆テーパ形状となることを防ぎ、その上に設けられる接続電極の段切れを抑制して良好な接続を得る。【解決手段】 本発明の液晶表示装置におけるTFTアレイ基板に設けられているソース側外部入力端子部5において、ゲート配線2およびゲート電極8と同一材料からなるソース側外部入力端子10が、ガラス基板1上に配置され、該ソース側外部入力端子10とソース配線3とが互いに重なる部分(接続部分)の、該ソース側外部入力端子10とソース配線3との間には、アイランド半導体層11が設けられている。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上に、金属膜からなる端子部と、該端子部上に配置されて、且つコンタクトホールが設けられた絶縁層と、該絶縁層の上部に接続端部が配置された金属膜からなる配線とを有し、上記端子部と上記配線の接続端部とが、上記コンタクトホールを介して接続導電膜により接続されている基板を備えた液晶表示装置において、上記絶縁層と上記配線の接続端部との間に、該絶縁層よりもエッチング速度が遅い材料からなり、上記配線の接続端部よりも上記コンタクトホール内側に引き出された形状のアイランド状膜が設けられていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (6件)：

G02F 1/1345 ,  G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 330 ,  G09F 9/30 348 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (5件)：

G02F 1/1345 ,  G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 330 Z ,  G09F 9/30 348 A ,  H01L 29/78 612 D

Fターム (96件)：

2H090HA02 ,  2H090HB04X ,  2H090HC03 ,  2H090HC12 ,  2H090HC17 ,  2H090HC18 ,  2H090HD07 ,  2H090JB02 ,  2H090LA04 ,  2H092HA19 ,  2H092HA25 ,  2H092HA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB38 ,  2H092JB51 ,  2H092JB57 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA07 ,  2H092KA12 ,  2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092KB25 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA16 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA27 ,  2H092MA33 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA15 ,  2H092NA18 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA06 ,  5C094AA32 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA48 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DA15 ,  5C094DB03 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA10 ,  5C094EB02 ,  5C094FA01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5C094JA01 ,  5F110AA14 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG23 ,  5F110GG45 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK25 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 平面表示装置用アレイ基板、及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-003291   出願人：株式会社東芝
• 配線用組成物、この組成物を用いた金属配線およびその製造方法、この配線を用いた表示装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-045998   出願人：三星電子株式会社
• 特開昭63-314848
  
• 特開昭63-314848
  
• 特開昭63-314848