特許

J-GLOBAL ID：200903020173953476

ガスセンサ

発明者： リューヘ,ユルゲン ,  サミュエル,ジェイ.ディ.イェヤープラカシ ,  フレリッシツ,ハインツ-ペーテル ,  レーマン,ミルコ
出願人/特許権者： ミクロナス ゲーエムベーハー ,  アルベルト-ルートヴィッヒ-ユニベルジテート フライブルク
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-521493
公開番号（公開出願番号）：特表2007-500342
出願日： 2004年07月24日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：

ガスセンサ(1)は第1の電荷キャリア形式の基板(2)を具備し、該基板上に第2の電荷キャリア形式のドレイン(3)及びソース(4)が配置されている。ドレイン(3)とソース(4)との間にチャネル領域(8)が形成されている。更にガスセンサ(1)は極(11,12)を有するガス感応層(10)を備えており、これらの極の間では前記感応層(10)と接触するガスの濃度に応じてガス励起電圧が生じる。該電圧を測定するために、感応層(10)はその一方の極(12)によりエアギャップ(14)を介して前記チャネル領域(8)に容量結合されており、またその他方の極(11)により基準電位を有する対電極(13)に接続されている。ガスセンサ(1)の表面には、ガス感応層(10)とチャネル領域(8)及び/又はチャネル領域(8)に設けられたゲート電極と電気的に接続されたセンサ電極との間に疎水層(19)が設けられている。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

第1の電荷キャリア形式の基板(2)を具備し、前記基板上に第2の電荷キャリア形式のドレイン(3)及びソース(4)が配置され、ドレイン(3)とソース(4)との間にチャネル領域(8)が形成されており、更に極(11,12)を有するガス感応層(10)を具備するガスセンサ(1)であって、これらの極の間では前記感応層(10)と接触するガスの濃度に応じてガス励起電圧が発生し、その際に前記ガス感応層(10)は前記電圧を測定するためにその一方の極(12)によりエアギャップ(14)を介して前記チャネル領域(8)に容量結合されており、またその他方の極(11)により基準電位を有する対電極(13)に接続されているガスセンサにおいて、ガス感応層(10)とチャネル領域(8)及び/又は該チャネル領域(8)に設けられたゲート電極(22)と電気的に接続されたセンサ電極(16)との間のガスセンサ(1)表面に疎水層(19)が設けられている、ことを特徴とするガスセンサ(1)。

IPC (1件)：

G01N 27/414

FI (1件)：

G01N27/30 301V

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ドイツ特許明細書 DE 第4333875 C2号
  
• ドイツ特許明細書 DE 第10118367 C2号
  
• 欧州特許明細書 EP 第1191332 A1号
  

審査官引用 (1件)

• 特開昭63-061944
  

引用文献：

審査官引用 (4件)

• TRANSDUCERS '03, 20030609, V1, P135-138
• SENSORS AND ACTUATORS B, 199610, V36 N1, P285-289
• PROCEEDINGS OF IEEE SENSORS 2002. IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE, 20020612, V. 1 OF 2. CONF. 1, P439-442
• JOURNAL OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY, 19990929, V121 N38, P8766-8770