マイクロ波駆動式プラズマ噴射装置および噴射する方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤野清也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-500776
公開番号（公開出願番号）：特表平11-506805
出願日： 1996年05月28日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：

【要約】マイクロ波駆動式プラズマ噴射装置を均一な高出力噴射のために利用することができる。このプラズマ噴射機は、誘電体放電管なしで構築されるので、非常に高いマイクロ波出力を利用することができる。さらに、このプラズマ噴射機は、熱可融性材料の析出により生じる汚染を比較的受けない。

請求項（抜粋）：

a)(i)イオン化に適した気体を空洞に導入し、空洞内の全ての方向にプラズマを安定させるのに適切な速度および渦を生み出すための少なくとも一つの注入ポート、ならびに(ii)空洞からプラズマを排出するためのノズルを含む、空洞中に形成されたプラズマを直接封じ込める導電性マイクロ波空洞と、 b)空洞中の気体をイオン化するためにマイクロ波出力を空洞に提供するためのマイクロ波出力源、そのマイクロ波出力が空洞内でマイクロ波放電を生み出し、ノズルからプラズマ噴射が流出する、とを含むプラズマ発生装置。

IPC (3件)：

C23C 4/00 , H05H 1/42 , H05H 1/46

FI (3件)：

C23C 4/00 , H05H 1/42 , H05H 1/46 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-289799
特開平4-351899
特開平1-184921

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