二酸化珪素膜付き基板

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大野精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-264831
公開番号（公開出願番号）：特開2001-089843
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】液晶表示素子の表示の信頼性を高くするために、液晶表示素子に対向配置して用いるガラス板の表面には、ガラス中のアルカリイオンに対する阻止性能が高い二酸化珪素膜が必要であり、その出現が望まれていた。【解決手段】ガラス板または樹脂板上の二酸化珪素膜を、減圧された雰囲気が調整できる成膜室内で、シリコンの蒸着材料にアーク放電プラズマを照射し、これによりシリコンを蒸発させ酸素と反応させながら成膜する。蒸着材料に用いるシリコンに硼素、アルミニウムまたはリンをドープして導電性とすることにより放電プラズマを安定持続させ、ピンホールのない膜とすることにより一層イオン阻止性およびガス阻止性の大きな膜とすることができる。

請求項（抜粋）：

透明基板上に二酸化珪素膜が成膜された二酸化珪素膜付き基板であって、前記二酸化珪素膜は、減圧された雰囲気が調整できる成膜室内で、シリコンの蒸着材料にアーク放電プラズマを照射して前記シリコンを蒸発させ酸素と反応させながら成膜した二酸化珪素膜であることを特徴とする二酸化珪素膜付き基板。

IPC (3件)：

C23C 14/10 , C23C 14/24 , G02F 1/1333 505

FI (3件)：

C23C 14/10 , C23C 14/24 F , G02F 1/1333 505

Fターム (16件)：

2H090HB03X , 2H090HC03 , 2H090HC15 , 2H090HC18 , 2H090HD02 , 2H090JB02 , 2H090JB03 , 2H090JC07 , 2H090JD10 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA46 , 4K029BD00 , 4K029CA04 , 4K029EA01

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