電気的相互接続を行う適応方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：生沼徳二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-126177
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102576
出願日： 1996年05月22日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】少なくとも1つの基板表面にまで延びる末端を有する複数の貫通線路に対する電気的相互接続を達成する適応性のある方法を提供する。【解決手段】少なくとも2枚の基板10を含む基板積層物の少なくとも1つの基板表面11a上における貫通線路12の末端の規定位置を用いて電気的相互結線用のアートワーク表現を生成する工程、少なくとも2つの貫通線路末端の実際の位置を測定する工程、これらの実際の位置を用いて尺度補正係数を推定する工程、この尺度補正係数を用いて残りの貫通線路末端の実際の位置を推定する工程、それぞれの規定位置に存在しない貫通線路末端に対する電気的相互接続を正しく含むようにアートワーク表現を修正する工程、修正済みアートワーク表現を用いて貫通線路に対する電気的相互接続42,48を形成する工程を含む。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの基板表面にまで延びる末端をそれぞれに有する複数の貫通線路に対する電気的相互接続を行う適応方法において、(a)前記少なくとも1つの基板表面上における貫通線路末端の規定位置を用いて電気的相互接続用のアートワーク表現を生成する工程、(b)少なくとも2つの貫通線路末端の実際の位置を測定する工程、(c)前記少なくとも2つの貫通線路末端の実際の位置を用いて尺度補正係数を推定する工程、(d)前記尺度補正係数を用いて残りの貫通線路末端の実際の位置を推定する工程、(e)それぞれの規定位置に存在しない貫通線路末端に対する電気的相互接続を正しく含むように前記アートワーク表現を修正する工程、及び(f)修正済みのアートワークを用いて前記貫通線路に対する電気的相互接続を形成する工程を含むことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

H01L 23/52 , H01L 23/522

FI (2件)：

H01L 23/52 C , H01L 23/52 B

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭58-103149
特開平3-073547
特開昭58-103149

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