特許

J-GLOBAL ID：200903020185448505

CMOS集積回路の故障検出方法及び装置

発明者： 坂口 和宏
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044272
公開番号（公開出願番号）：特開平9-211088
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】Iddq不良を簡易な装置で短時間で検出する。【解決手段】被試験CMOS集積回路(DUT)4にテスタ1からテストパターンを繰り返し印加し、電源ユニット5からは電流検出器6を介してDUTに電源が供給され、電源電流は電流検出器6で観測され検出信号が出力され、検出信号はアンプ7を介してパワースペクトル解析ユニット8によりパワースペクトルが求められ、テストパターンを繰り返し周期NT+T0秒でDUT4に印加することによりDUT4に故障が存在した場合、特定のパターンにおいてトランジスタのスイッチング電流によらない静的な電源電流はNT+T0秒毎に流れるため、判定器9により検出信号のうち1/(NT+T0)(Hz)近傍のパワーを観測し、静的電源電流の有無が判定し、DUT4の故障を検出する。

請求項（抜粋）：

CMOS集積回路にテストパターンを印加し動作させたときに流れる電源電流のうち、トランジスタのスイッチングによらない静的な電源電流を観測することによりCMOS集積回路の故障を検出するCMOS集積回路の故障検出方法において、被試験CMOS集積回路にテストパターンを繰り返し印加する手段と、前記被試験CMOS集積回路に供給される電源電流を観測する電流観測手段と、前記電流観測手段により検出された前記電源電流のパワースペクトルを求める手段と、を含み、前記電源電流のパワースペクトルのうち、予め定められた周波数帯域のパワーの大きさにより、前記被試験CMOS集積回路の故障の有無を判定する、ことを特徴とするCMOS集積回路の故障検出方法。

IPC (2件)：

G01R 31/319 ,  G06F 11/22 310

FI (2件)：

G01R 31/28 R ,  G06F 11/22 310 B