感光性組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-261970
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166868
出願日： 1996年10月02日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】 ArFエキシマレーザ光およびF2 エキシマレーザ光などの短波長光に対する透明性が優れ、高い感度で解像性の良好なレジストパターンを形成することができる感光性組成物を提供する。【解決手段】酸分解性基および酸架橋性基のいずれか一方を有する化合物と、下記一般式(1)で表される化合物とを含有する感光性組成物である。【化1】(式中、Ar1 ,Ar2 は芳香環または縮合芳香環、R1 ,R2 はハロゲン原子または1価の有機基、XはCF3 SO3 ,CH3 SO3 ,CF3 COOH,ClO4 ,SbF6 またはAsF6 、ZはCl,Br,I,S-RまたはSe-R(Rは炭素数1以上10以下のアルキル基またはパーフルオロアルキル基)、m,nは0または正の整数を示す。)

請求項（抜粋）：

ArFエキシマレーザ光およびF2 エキシマレーザ光のいずれかにより露光を施しパターンを形成するための感光性組成物であって、酸分解性基および酸架橋性基のいずれか一方を有する化合物と、下記一般式(1)で表される化合物とを含有する感光性組成物。【化1】(式中、Ar1 ,Ar2 は芳香環または縮合芳香環、R1 ,R2 はハロゲン原子または1価の有機基、XはCF3 SO3 ,CH3 SO3 ,CF3 COOH,ClO4 ,SbF6 およびAsF6 からなる群から選択され、ZはCl,Br,I,S-RおよびSe-R(Rは炭素数1以上10以下のアルキル基またはパーフルオロアルキル基)からなる群から選択され、m,nは0または正の整数を示す。)

IPC (5件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 501 , G03F 7/038 505 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 501 , G03F 7/038 505 , G03F 7/039 501 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-299093 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-068630 出願人：富士写真フイルム株式会社
ネガ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-344085 出願人：富士写真フイルム株式会社

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