特許
J-GLOBAL ID:200903020200020681
液剤塗布装置及び方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 秀樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-168732
公開番号(公開出願番号):特開平9-327644
出願日: 1996年06月10日
公開日(公表日): 1997年12月22日
要約:
【要約】【課題】 転写ピンの先端を簡単に清掃して常に一定の状態で、安定した液剤塗布を行うことができる液剤塗布装置及び方法を提供する。【解決手段】 転写ピン21により液剤39をワーク60に塗布するものであって、液剤39を転写ピン21に付着させる工程と、液剤39が付着された転写ピン21を液剤塗布位置に移動させてワーク60に塗布する工程と、ワーク60への塗布を終えた後の転写ピン21を洗浄位置に移動させて洗浄する工程とを設けるとともに、転写ピン21の各工程への移動をロボットによりコントロールするようにした。
請求項(抜粋):
転写ピンにより第1の液剤をワークに塗布する液剤塗布装置において、前記転写ピンを清掃するための第2の液剤を蓄える液槽と、前記液層内の前記第2の液剤に微振動を加えて前記転写ピンから前記第1の液剤を剥離させるための超音波発生手段と、前記超音波により剥離された第1の液剤を液流と共に流し出すための液流発生手段と、前記液流発生手段により流し出された前記第1の液剤を前記第2の液剤から分離するための濾過手段と、前記濾過手段により清浄化された前記第2の液剤を前記液流発生手段に供給するためのポンプ、とを備えたことを特徴とする液剤塗布装置。
IPC (5件):
B05C 1/02 104
, B05C 1/02 101
, B05C 11/10
, B05D 1/28
, B05D 3/00
FI (5件):
B05C 1/02 104
, B05C 1/02 101
, B05C 11/10
, B05D 1/28
, B05D 3/00 A
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