特許
J-GLOBAL ID：200903020200099148
走査ミラーの駆動装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 幹夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-231156
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082711
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 大型の走査ミラーを容易に駆動できるようにする。【構成】 コイル2aを有する磁気発生部2 と、鏡面部1bにより反射された光が走査されるようコイル2aを通電することによって発生する磁気発生部2 の磁気に応じて角変位して駆動される平板状の走査ミラー1 と、を備え、走査ミラー1 は、両端部を結ぶ駆動軸1eを中心として角変位可能なよう支持部材1dで両端支持されるとともに一方面側が鏡面部1bで他方面側が駆動軸1eの両側を異極に着磁した薄膜状の永久磁石1cで形成され、磁気発生部2 は、走査ミラー1 の駆動軸1eに直交する方向をコイル2aの巻回軸とするとともに走査ミラー1 の他方面側に所定の距離を隔てて配設されている。従って、走査ミラー1 は、単独で、しかも他方面側に薄膜状の永久磁石1cを形成しただけの軽い状態で駆動されるので、走査ミラー1 を大型にしたいような場合であっても、比較的小さな駆動力でも容易に駆動できる。
請求項（抜粋）：
コイルを有する磁気発生部と、鏡面部により反射された光が走査されるようコイルを通電することによって発生する磁気発生部の磁気に応じて角変位して駆動される平板状の走査ミラーと、を備えた走査ミラーの駆動装置において、走査ミラーは、両端部を結ぶ駆動軸を中心として角変位可能なよう両端支持されるとともに一方面側が鏡面部で他方面側が駆動軸の両側を異極に着磁した薄膜状の永久磁石で形成され、磁気発生部は、走査ミラーの駆動軸に直交する方向をコイルの巻回軸とするとともに走査ミラーの他方面側に所定の距離を隔てて配設されてなることを特徴とする走査ミラーの駆動装置。
IPC (4件)：
G02B 26/10 101
, G01B 11/24
, G01B 11/30 102
, G01N 21/88
