特許
J-GLOBAL ID：200903020202947260
感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィルムレジスト
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-157964
公開番号（公開出願番号）：特開平10-333331
出願日： 1997年05月29日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 感度、密着性、放置安定性に優れたドライフィルムレジストに用いられる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 熱可塑性有機高分子化合物(a)、エチレン性不飽和基を少なくとも1つ有する光重合性化合物(b)、密着性付与剤(c)、光重合開始剤(d)及び/又は増感剤(e)からなる感光性樹脂組成物において、密着性付与剤が特定のテトラアルキルチウラムジスルフィドと特定のベンゾトリアゾールカルボン酸類及び/又は特定の含窒素複素環化合物である感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
熱可塑性有機高分子化合物(a)、エチレン性不飽和基を少なくとも1つ有する光重合性化合物(b)、密着性付与剤(c)、光重合開始剤(d)及び/又は増感剤(e)からなる感光性樹脂組成物において、密着性付与剤(c)が(A)下記(1)式で示されるテトラアルキルチウラムジスルフィド(c-1)と下記(2)式で示されるベンゾトリアゾールカルボン酸類(c-2)(B)下記(1)式で示されるテトラアルキルチウラムジスルフィド(c-1)と下記(3)式で示される含窒素複素環化合物(c-3)(C)下記(1)式で示されるテトラアルキルチウラムジスルフィド(c-1)と下記(2)式で示されるベンゾトリアゾールカルボン酸類(c-2)と下記(3)式で示される含窒素複素環化合物(c-3)の(A)〜(C)のいずれかの組み合わせから選ばれることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1、R2、R3、R4はそれぞれ炭素数1〜4のアルキル基である。)【化2】(式中、R5は水素原子、アルカリ金属又は炭素原子数が1〜12の脂肪族炭化水素基である。)【化3】(式中、nは1〜3の整数、R6は水素原子、ハロゲン原子、低級アルキル基、シアノ基又はニトロ基、mは1〜3の整数、R7、R8はそれぞれ炭素数1〜12のアルキル基又はヒドロキシルアルキル基である。)
IPC (4件)：
G03F 7/031
, C09D 5/00
, G03F 7/004 512
, G03F 7/085
G03F 7/031
, C09D 5/00 C
, G03F 7/004 512
, G03F 7/085
