ミニエンバイロンメントシステムおよびその操作方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-000529
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203887
出願日： 2001年01月05日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】局所クリーンシステムにおいてクリーンボックスからウエハをとり出す際に発生するバーティクルがウエハに付着することを防止する。【解決手段】プロセス装置、それに付属するロードポートおよびロードポートに設置されるクリーンボックスを含む局所クリーンシステムの操作方法において、クリーンボックスをロードポートに設置し、ロードポートとプロセス装置との間の連絡路を開き、前記連絡路が全開された後に前記クリーンボックスを開いて中のウエハを収納したカセットをロードポート内に引き込み、ウエハをカセットから取り出してプロセス装置内に搬送する。

請求項（抜粋）：

プロセス装置、それに付属するロードポートおよびロードポートに設置されるクリーンボックスを含む局所クリーンシステムの操作方法であって、クリーンボックスをロードポートに設置し、ロードポートとプロセス装置との間の連絡路を開き、前記連絡路が全開された後に前記クリーンボックスを開いて中のウエハを収納したカセットをロードポート内に引き込み、ウエハをカセットから取り出してプロセス装置内に搬送する、ことを特徴とする方法。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B65G 1/00 521 , B65G 1/00 539 , B65G 49/00 , H01L 21/02

FI (5件)：

H01L 21/68 A , B65G 1/00 521 D , B65G 1/00 539 , B65G 49/00 A , H01L 21/02 D

Fターム (18件)：

3F022AA08 , 3F022BB09 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022KK20 , 5F031CA01 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA03 , 5F031FA11 , 5F031GA49 , 5F031MA28 , 5F031NA02 , 5F031NA16 , 5F031NA18 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (1件)

物品容器開閉・転送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-128437 出願人：平田機工株式会社

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